SEMI F71 - 가스 시스템의 온도 사이크루 방식 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本 本 は は, 글로벌 시설위원회 (Global Secilities Committee) で 技術 技術 技術 に に さ さ れ た た もの で で で 承認 さ さ れ れ た で で で が 直接 直接 責任 を を 負う もの もの である。。 現 版はは は は は 年 7 年 日 に に 일본 지역 표준위원회承認 さ さ れ た た た た。 年 19 2002年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり， 2002年11月に発行。

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

本文書の目的は，Gas供給Systemにおける温度サイクルの漏れ性能の標準方法と手順を定義することである.

本試験方法は，半導体製造装置に設置されたgas供給Systemに適用される.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양

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