SEMI F66 - 스텐레스製薬液容器의 포트標記及び記号の仕様 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本仕様はGlobal Liquid Chemical Distribution Systems Committeeにおいて技術的に承認されたもので，일본 약액 유통 시스템 위원회が直接責任を負うものである.現版は2001年8月3日に일본 지역 표준 위원회にて承認された。 2001年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2001年11月発行に至る。

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本文書は，半導体及びフラットdisprei製造装置，及び薬液供給設備に使用用する stenres製容器のポート標記及び記号を規定する。

　

本文書が対象とする 스텐레스製容器は、薬液を導出もしくは導入する츄브有しており、その츄브が容器内部に貫通しているものである.

　

츄브의 取合い部（ポーート）に캅링（クイックカップRING）を用用する容器はこの範囲から除く.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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