SEMI F64 - 마스후로콘트로라노指示および実流量に対する圧力影響を測定する試験方法 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org에서 入手可能となる. 初版は2001年7月発行.

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された.

　

本文書の目的は，Gas供給Systemへの設置を検討している마스후로콘트로라（ MFC ）の特性を測定する方法を規定する ことである。本法方は， MFC性能に対する一次側および二次側の定常および過渡圧力条件の影響を定量化する.

　

本書はMFCの圧力の影響を試験し，それを記述する ことに関して，me-ca-to yu-za間に共通のコミュニケーション基盤を提供する.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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