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SEMI F60 - 부동화화시키다316L스텐레스・스티르부품의 가스화면의 組成をESCA により評価する試験方法 -
Abstract
本standardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서는 2001년 3 월 행사가 시작됩니다 .
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された.
本書の目的は，高純度gas分配systemへの組み込みを念頭においた不動態化316LSTENRESS・스티르부품の試験方法を規定する ことである。この試験方法を適用すると，本認定試験を受ける ことにより組み込まれる部品間で比較可能な結果を生むことが期待される.
本書は不動態化の効果の指標として，스텐레스・스처르管，継手，바르브他の部品の内面を試験して，その表面組成 および化学的性質を測定する方法を規定する.
本方法の目的は，計器のparametera および条件の一般的な組み合わせを説明し，クROMを含有する酸化層内の，重要な表面化学性質に対する正確で再現性のある測定を達成する ことである.
참조된 SEMI 표준
SEMI F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양
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