SEMI F56 - 마스후로콘트로라의 정법 -

Name: F05600 - SEMI F56 - 마스후로콘트로라의 정법
Brand: semi.org
SKU: 10935
Price: 286000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩286,000

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI F56-0600(0412 재승인) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12 月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年4月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org에서 入手可能となる. 初版는 2000年3月発行.

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された.

本文書の目的は,高純度gas供給Systemへマスフローコントローラ(MFC)の設置を検討する際に, MFCの特性を示す方法を定義することであるこ。の方法によって,設定流量を正確に供給するMFCの能力に定常供給電圧が及ぼす影響を定量化する.

この手順は，서마르마스후로콘트로라に適用される。供給される質量流量の変化を，基準常供給電圧からの偏移の関数として測定することを意図している。試験方法は, DC電源で動作するMFCを対象に設計されている.供給電圧の影響には， DC電源の電圧降下と過電圧変動が含まれる。

참조된 SEMI 표준

없음.

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