SEMI F33 - 気圧 ion化質量分析計(APIMS) 較正のためのtest方法 -

Abstract

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免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standard는, 글로벌 가스 위원회で技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年6月にwww.semi.orgで。

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

このtest方法は，窒素，アルゴ，ヘリウムおよび水素に含まれる不純物を測定するためのAPIMSの較正に関するgaidlineを提供する現在，APIMSは，가스供給시 Stemto構成部品の中に存在する低いレベルの不純物を測定するための選ばれた技術である.その理由は，APIMSは，本質的にはppt不純物分析を行える唯一商業的に利用可能な方法であり，優れた応答時間を実現することができるためである.この方法は, この時点では商業的に利用可能ではないかもしれない，APIMSto同様の検出限界と応答時間を備えたその他の技術を適用するための가이드라인을 提供する場合もある.

　

この方法は， 100pptの目標不純物範囲から200ppbの不純物範囲to同程度までのAPIMSの検體較正に適用される。実際の較正範囲は，実施すべき測定によって，対象となる不純物測定を一まとめにする必要がある.その他のいずれも較正の範囲外である.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C9.1 - 중량 측정 방식으로 준비된 가스 혼합물의 불확실성 분석 가이드
SEMI C15 — ppm 및 ppb 습도 표준에 대한 테스트 방법

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