{"product_id":"f02200-semi-f22-guide-for-bulk-and-specialty-gas-distribution-systems","title":"F02200 - SEMI F22 - 벌크 및 특수 가스 분배 시스템 가이드","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e이 표준은 시설 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1997년에 출판되었습니다. 이전에 2012년 8월에 게시되었습니다.\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e 이 참조 문서는 반도체 제조 시설에서 고순도 가스 분배 시스템의 공통 시스템 구성, 구성 요소 및 하위 구성 요소를 사용자에게 간략하게 설명하기 위한 것입니다. 관련 사양도 명시되어 있습니다.\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e 이 문서에는 벌크 및 특수 가스 분배 시스템이 모두 설명되어 있습니다.\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e 구성 요소 및 하위 구성 요소는 공급 지점에서 공정 장비에 대한 연결 지점까지 식별됩니다.\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cb\u003e참조된 SEMI 표준\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e \u003cfont\u003e없음.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F22-0812(재승인 0518) - 현재","offer_id":40234283466819,"sku":"4091","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true},{"title":"SEMI F22-0812 - 대체됨","offer_id":40234283499587,"sku":"10913","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true},{"title":"SEMI F22-1102 - 대체됨","offer_id":40234283532355,"sku":"10760","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_56abf2b3-6cb8-49ac-94b0-13c04197bf5b.png?v=1776702712","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/f02200-semi-f22-guide-for-bulk-and-specialty-gas-distribution-systems","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}