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SEMI F19 - 스텐레스스치르부착가스・接液面の表面仕上げのための仕様 -
Abstract
本standared는, 글로벌 가스 위원회 で技術的に承認されている。現版は2009年12月16日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2010年2月にwww.semi.orgで入手可能となる.初版は1995年2月発行，前版は2004年3月発行。
注意： 本文書は，編集上の修正を伴って，再承認された.
本仕様の目的は，半導体製造設備の化学薬品（気体および液體）供給systemに使用されるstenres鋼部品の接面gas・接液の品質に関する standaredを提供する ことである.
本仕様では, SEMI F20に従いstenress鋼で製作された配管や部品の接gas・接液面の特性評価に関する要求条件および仕上げの合格判定基準について定義し，mata半導体製造で使用される気体と液体の管理や収納を目的としている.
実施すべき表面特性試験は, ここに規定される.mata, これらの試験を行なうための既存のstandardは参照する こと.
本技術に特有な専門用語は，本仕様の合格判定に関連するため この中に記載されているか，もしくは特有の試験方法に関係するため参文書のに定義されている.
참조된 SEMI 표준 SEMI F20 — 고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 압출 성형품, 플레이트 및 매몰 주조용 사양
SEMI F37 — 가스 분배 시스템 구성요소의 표면 거칠기 매개변수 결정 방법
SEMI F60 — 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 조성에 대한 ESCA 평가를 위한 테스트 방법
SEMI F70 - 가스 전달 시스템의 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F72 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 산화물층에 대한 AES(Auger Electron Spectroscopy) 평가를 위한 테스트 방법
SEMI F73 - 스테인리스강 구성요소의 젖은 표면 상태에 대한 주사 전자 현미경(SEM) 평가를 위한 테스트 방법
SEMI F77 - 부식성 가스 시스템에 사용되는 합금 표면의 전기화학적 임계 공식 온도 테스트를 위한 테스트 방법
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