SEMI F6 - 가이드라인 -

Abstract

危険な製品材料( HPM )としてのgasに対する二次封じ込め파이프시스템の設計，製作，及び操作についてのgaidlineを規定するものである。

 

本gaidlineは, Uniform Building CodeのH-6の分類, Uniform Fire Codeの51条又は80条, 又はその他適用で きるローカルコード，の監督下に置かれている産業において，危険な生産品材料を供給する파이프의 ための一般的要求条件ををカバーするものである.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 독성 가스 배관 시스템의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 안전 가이드라인
SEMI S4 — 캐비닛에 포함된 가스 실린더의 분리/분리에 대한 안전 지침

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