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SEMI F4 - 空気圧動作シリンダバルブの仕様 -
Abstract
本仕様は， Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので， North American Facility Committeeが直接責任を負うものである。현재 는 2000 년 8월 28 일 North American Regional Standards Committee にて承認さ레타 。 2000年9月にまずSEMI On Line で入手可能になり，2000 年10月発行に至る。初版は1990 年発行，前版は2000 年2 月発行。
本仕様は，半導体の製造に使用される空気圧動作シリンダバルブに対する最低限の設計及び性能の要求条件を確立する。本仕様は，更にこれらのバルブを調達する際の手引きとなるよう意図されている。
本仕様は，半導体製造設備及びこれに対応する研究及び開発のエリアで使用される，gasを含む空気圧動作シリンダバルブに適用される。
本仕様は，その使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない.健康上の作業方法を確立し，matata使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである.
참조된 SEMI 표준 SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F19 — 전해 연마된 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면 마감 사양
SEMI F20 — 고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 압출 성형품, 플레이트 및 매몰 주조용 사양
세미 F32 — 고순도 차단 밸브의 유량 계수 측정을 위한 시험 방법
SEMI S5 — 흐름 제한 장치에 대한 안전 가이드라인
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