SEMI E169 - 보안 시스템 보안 유지 관리 가이드 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI E169-0615 - 현재

개정

Abstract

알림: 이 번역은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項: このSEMIstandadeは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本版は2015年2月10日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2015年6月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org 에서 2014년 4 월에 출시되었습니다.

 

콘퓨타위르스による情報の破壊や情報漏洩による機密性の侵害,sa-bis拒否による情報可用性の制限naどのinshidententが至る所で頻繁に報告されている。そのような状況で,半導体製造装置の情報Systemもmata ,これらの脅威にさらされている。

 

従って,Seecuriti対策は半導体製造装置の不可避な要件となっている。半導体製造装置のsececuuritiに関して以下のような要求がある。marwea(wirus)防御,ただし装置の性能を損なわないこ

  • .

  • レシピの機密性保護,ただし装置の運転効率が低下させないこと.
  • TRABURU SHUE TING の ために装置 の 操作logfァ イルを利用 可能にする こと,ただしその機密情報が漏洩されないようにする こと。
  • ユーザが装置の設計情報を利用できるようにすること,ただしその機密情報が漏洩されないようにすること。
  •  

    Seecuriti対策は,個々の装置ユーザの半導体製造lineの管理計画に合わせて仕立てられるしかしながら,顧客毎の違いが。あるので,個々の装置のユーザとサプライヤの間で装置情報SystemNottaめのsececuritipolishーの交渉は非効率的である。さらに,そこで取り決められたことが確実に機能し,持続性を持つかどうかは不透明である。半導体製造装置における情報sececuritiのためのgaidlineが必要とされる.

     

    このスタンダードの目的は,装置情報systemsのsececuritiのための共通の基盤を確立することである。これにより,情報sececuritiの概念や対策を示唆し,それらをユーザおよび半導体製造装置のサプライヤ間で共有できるようにする.

     

    このスタンダードは以下を期待される:

    • cost,納期,および信頼性を最適化する ために,適切な世ecuriti対策を装置に適用するgaidlineを그럴 수 있습니다.
  • 装置の役割や責任についての知識を提供する ことによって,ユーザのsececuuritisisystemの設計をより簡単に,より堅牢にする。
  • 業界内のニーズと,sececuritiの評価方法を表現し,その一貫した理解を得るための共通言語を提供する.
  • ポータブルで,相互運用可能な実装を提供する openstandad開発を促進する.
  •  

    領域

    このスタンダードは,半導体製造装置運用に関する領域をカバーする.

     

    その領域は;

    • 装置と対話するEntiiti(인간, 프로세스, 시스템)
    • 装置運用に関するデータ・오브제크트
  • 装置内に組み込まれた情報시스템부품
  •  

    装置のdmeinへの外部Entititi(例えば工場や会社)は,装置の情報sececulitiに関連している場合にのみ言及される.

     

    テーマ

    コのスタンダードは, 装置の操作に関連した情報sececuritiのためのgaidlineの作成に以下の項目に言及する.

  • 情報sececuritiの目標(機密性,完全性,可用性)
  • 保護されるべき資産(装置情報資産)
  • 装置情報시스템によってsaportされるべき役割
  • 重要な世ecuriti要件(例えば,marwea対策,nettwork上の不正なアクses防止,로칼작작,하드웨아,콘포넨트の処等)
  •  

    참조된 SEMI 표준

    SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
    SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
    SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS)
    SEMI E40 — 공정 관리 표준
    SEMI E87 — 캐리어 관리 사양
    SEMI E90 — 기판 추적 사양
    SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
    SEMI E116 — 장비 성능 추적 사양
    SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양
    SEMI E125 — EQSD(장비 자체 설명) 사양
    SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
    SEMI E134 — 데이터 수집 관리 사양
    SEMI E139 - 레시피 및 매개변수 관리(RaP) 사양
    SEMI E147 - EDA(장비 데이터 수집) 가이드


    SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양
    SEMI E157 — 모듈 프로세스 추적 사양
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