SEMI E162 - 450 mm프론트오프닝・쉽핑박스・로드포트의 메카니카루인타페스의 구조 -

Abstract

本standaredは， global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2011 年11 月にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 2011년 11 월 발간.

　

本仕様の目的は, 450mm용 전면 오픈・쉽핑복스（ FOSB ）のロードおよび ANROーDOを行う半導体製造装置におけるロードポートの基本的な寸法のイntafeversを定義する ことである.本書の意図は，革new的なソ류션を限定する ことなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要求および機能を定義するものである.

　

本書のintaferes仕様は，関連するSEMI450mm FOSBstandadeードに準拠するCariaaによって決定され，mat，Cariaに適合するように作成されている.

　

ロードおよび アンロードは，何らかのsystemmataは装置（人が運転する搬送車mataは高架ホイスト車など）を使って半自動およびautomode で行なわれることを想定している。

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E154 ― 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양
SEMI M80 — 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양

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