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SEMI E159 - 웨하노 搬送及び, 輸送のための多目的캘리아(MAC：Multi Application Carrier)의 機械仕様 -
Abstract
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2013年12月23日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org 에서 가능 합니다 .
本文書の目的は，半導体debais製造設備において、SEMI M74に規定された450 mmweーhaを収納し搬送するために用する cariano基本的な理的寸法を規定することである.
本文書は，Calia寸法の基準面およびカリアと相互動作するロードポート形状を定義することを意図している.
本 本 は は は, 革新 的 的 な ソリューション に対する 制約 制約 を を こと こと なく ロード ロード ポート と キャリア キャリア の 相互 運用 性 性 を 確保 する ため ため の 一連 の 要求 を を 定義 する こと を 意図 し て いる いる いる いる いる を こと こと
本standardは, 450 MACが主にシリコンウェーハ製造中或はデザイス製造済みWeーハの保管와 輸送中，Weーハの品質を維持或したり，Cariano自動化対応のために使用されるものである想定している。we-haは， MAC 으로부터 FOUP ， FOUP으로부터 MACへ自動的な手段により移送されることを推奨する。
本文書는 450mm 캘리아의 외형과 寸法을 한정된 것입니다.
本文書は, 450mmCaria内のウェーハの支持と保持のための排除領域を定めている.
本文書は450 mm 캘리아어を支持し配置するKCP 의 重要な寸法과 位置を規定する.
本文書は3つの直交する基準面をキャリア寸法の基準として定義する.
참조된 SEMI 표준
SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E30.1 — 특정 장비 모델 검사 및 검토(ISEM)
SEMI E144 — 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스에 대한 임시 사양
SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양
SEMI M74 — 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양
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