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SEMI E158 - 450 mm웨하카리아(450 FOUP)토키네마틱카프링의 구조 -
Abstract
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2013年12月23日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2014年3月にwww. semiviews.orgおよびwww.semi.org에서 初版は， 2010年7月発行。前版は， 2012年9月発行。
本文書の目的は，半導体debais製造設備において、SEMI M74に規定された450 mmweーhaを収納し搬送するために用する cariano基本的な理的寸法を規定することである.
本文書は，Calia寸法の基準面およびカリアと相互動作するロードポート形状を定義することを意図している.
本 本 は は は, 革新 的 的 な ソリューション に対する 制約 制約 を を こと こと なく ロード ロード ポート と キャリア キャリア の 相互 運用 性 性 を 確保 する ため ため の 一連 の 要求 を を 定義 する こと を 意図 し て いる いる いる いる いる を こと こと
本文書는 450mm 캘리시아의 외부형상으로 寸法을 規定할 수 있다.
本文書は450mm캘리아어にWeーハを支持し保持するための内部排他領域を規定する.
本文書は450 mmCariaAを支持し配置する KINEMATICKCAPRINGP( KCP )の重要な寸法と位置を規定する.
本文書は3つの直交する基準面をキャリア寸法の基準として定義する.
참조된 SEMI 표준
SEMI E144 — 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양
SEMI M74 — 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양
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