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SEMI E157 - 모쥬르프로세스트락킹 사양 -
Abstract
本standaredは，글로벌정보통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年12月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年2月にwww.semiviews. orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能となる.初版は2010年6月発行。
本仕様の目的は，proses関連データを工場Systemに報告する標準の装置機能を定義する ことである。本仕様は主に，レシピの実行に関連した프로세스로케이션 。
今日の半導体工場において，レシピ実行時のprosesdeーtaの収集は重要である。これにより，装置proses，完成品の品質，歩留mari，および工場の全般的なパフォーマンスの最適化に役立つさまざまなアプリケーションをsaportできる。
このプロセスデータの報告機能により，工場のアプリケーションは，抽出した時系列データ(트레이스) およびsamariprosesdeーtaを関連する コンテキストデータに結び付けることができる。本Standardで規定されるproses모쥬르のレシピ実行を記述するイベントによって, このような kontechist情報が利用 可能である ことを保証する.Contechist データには，proses・jobs，装置レシピ，処理基板の識別子などの項目が含まれる。この報告機能では，処理の開始/終了レコードが，レシピステップレベルの粒度で提供される.
これらのイベントの報告は，prosesmojur固有のデータタパラメータを報告するために，prosesmojuールごとに行う必要があるこれらのprosesmojurは，一般に，それぞれ異なるcontechistやprosesnode-taparameter値を持つ.一つのイベントがすべてのプロセスチャンバに適用されるような一般 イベントでは，そのイベントレポートが発生したプロセスモジュールに関係なく同じデータが報告される.このような一般イベントでは，それぞれのprosesmojuールで得られるユニークなデータパラメータの取得に必要とされる，프로세스모쥬르固有のデータタSETは報告されない。
참조된 SEMI 표준
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E125 — EqSD(장비 자체 설명) 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리(DCM) 사양
SEMI E139 - 레시피 및 파라미터 관리(RaP)
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