SEMI E152 - 150 mm EUVL 레치크루용 EUV 폿드의 구조 -

Abstract

本standaredは， global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2009年5月13日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2009 年6 月にwww.semi .org 에서 2009년 7 월에 CD-ROM 을 통해 사용할 수 있습니다.

本standadardは，6인치레치크루の出荷，搬送，および保管のために使用する150 m 極紫外線リソグラフィ(EUVL )レチクル用EUVpotdの仕様を記述している。EUV 폿도는 外部폿도와 保護用의 内部potdから構成される。EUVpotdは，従来のレチクルカリアがEUVL の要件に適合しない場合に使用する。

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼 운반 및 보관에 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하기 위한 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양

SEMI P37 — 극자외선 리소그래피 마스크 기판 사양

SEMI P38 — 극자외선 마스크 블랭크의 필름 스택 및 다층 흡수 사양

SEMI P40 — 극자외선 마스크용 장착 요구 사항 및 정렬 기준 위치에 대한 사양

SEMI T16 — 극자외선 마스크 자동 식별을 위한 데이터 매트릭스 심볼로지 사용 사양

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