{"product_id":"e14100-semi-e141-guide-for-specification-of-ellipsometer-equipment-for-use-in-integrated-metrology","title":"E14100 - SEMI E141 - 통합 계측에 사용하기 위한 엘립소미터 장비 사양 가이드","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e통합 계측의 적용은 미래 집적 회로(IC) 제조에서 고급 프로세스 제어를 위한 핵심 요소가 될 것으로 예상됩니다. 장치 제조 단계의 특성화 및 검증을 위해 일반적으로 측정되는 중요한 매개변수는 제조된 층의 두께 및 광학적 특성과 서브미크론 구조의 임계 치수(CD)입니다. 두 응용 프로그램에 일반적으로 적용되는 엘립소메트리의 측정 원리에는 서로 다른 장비가 있으므로 데이터 수집 및 모델링을 위한 절차와 표기법이 존재합니다. 따라서 통합 계측 장비에 엘립소메트리를 적용하려면 장비 및 제조 환경에 따라 특정 설치에 대한 노력을 피하기 위해 장비에 대한 물리적 및 소프트웨어 통합을 표준화해야 합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e이 표준은 통합 계측에서 반사 엘립소메트릭 측정을 다룹니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e이 표준은 레이어 두께 및 광학 특성을 결정하는 엘립소메트리의 일반적인 응용을 다룹니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e참조된 SEMI 표준\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E30.5 — 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E89 — 측정 시스템 분석(MSA) 가이드\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E127 — 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스)\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI MF576 — 엘립소메트리에 의한 실리콘 기판의 절연체 두께 및 굴절률 측정을 위한 테스트 방법\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 14.2667px; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E141-0705(0211 재승인) - 비활성","offer_id":40234319773763,"sku":"5857","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true},{"title":"SEMI E141-0705 - 대체됨","offer_id":40234320035907,"sku":"7275","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_c598f067-de93-4cea-9922-cb511f59783d.png?v=1776702326","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/e14100-semi-e141-guide-for-specification-of-ellipsometer-equipment-for-use-in-integrated-metrology","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}