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SEMI E133 - 자동 프로세스 시스템 인타페스 사양 -
Abstract
本standaredは， global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年2にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 2004년 3 월 행사 시작. 이전 2010 년 11 월 행사.
R2R制御（ R2R ：実処理間制御）, 포르트 디텍션（ FD ：障害検出），포르트크래시피케이션（ FC ：障害分類），포르트프레디크션（ FP ：障害予測)，統計proses管理手法( SPC )等のproses制御System( PCS )の統合実装を現状，ならびに将来の工場側で効果的に設置するには，proses制御systemsのintafeーsを規定することが必要である。これは， (1)上記の機能間で， (2)依存関係のある上記以外の工場内のsystem（装置データ収集系を含む）が効果的に相互動作し，データを共有する ことを可能にするためである.本スタンダードは,将来開発する製品を応用する予定のある装置sapraiy,半導体製品製造会社，装置を構成するsystemsのsapraidy，制御systemsapraiヤが使うことを意図するものである.
本standardはPCS性能, 機能化gruーph, 機能化gruupのintafeーsを定義する ことに主眼を置くものである.本 standardは，将来的に投票を経て,新たな機能化グループが追加できるように構成されている。本書の構成要素には次のものを含む：
- 本書のドメインに適切な重要な用語と概念の定義,
- 本規定の表記法の説明,
- PCS 의 용도는 다음과 같습니다.
- 個々の機能化グループに求められる性能の説明（必須to任意），
特定のフォーmattやprotコルの実装は，その適用する技術に依存して，本規定のサブドキュMENTONの「dott」規定に記述する。想定し得る phoーmattの例としてXML 가ある(データ型の定義や메타모델)のskiーマも含まれる).
本standardは，本standardに盛り込まれた情報に加え，正当性検証手続きを明確にする。これは実装対象を決定し，現実の実装が可能な限り早期に出るように取り掛かるためである.
참조된 SEMI 표준
SEMI E81 — CIM 프레임워크 도메인 아키텍처에 대한 임시 사양
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
SEMI E125 — 장비 자체 설명(ESD) 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리 사양
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