{"product_id":"e13100-semi-e131-specification-for-the-physical-interface-of-an-integrated-measurement-module-imm-into-300-mm-tools-using-bolts-m","title":"E13100 - SEMI E131 - Bolts-M을 사용하는 300mm 도구에 대한 통합 측정 모듈(IMM)의 물리적 인터페이스 사양 ","description":"\u003cp class=\"StdsHead1\" style=\"text-align: justify; break-after: auto;\"\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성화 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 문서는 SEMI E63(BOLTS-M)에서 정의한 인터페이스를 사용하여 통합 측정 모듈(IMM)과 300mm 도구 사이의 인터페이스 요구 사항에 대한 사양을 설정합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 표준은 도구 공급업체, 로봇 공학 공급업체 및 측정 모듈 공급업체가 기계적 수준에서 플러그 앤 플레이 통합 측정 솔루션을 제공할 수 있도록 허용합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 표준의 목적은 측정 데이터에 대한 빠른 액세스를 통해 프로세스 모니터링을 용이하게 하고, 프로세스와 측정 장비 간의 자재 취급을 줄이고, 처리량 감소를 최소화하거나 전혀 하지 않고 프로세스 모니터링을 향상할 수 있는 기회를 제공하는 것입니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 상호 운용성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 기존 SEMI 표준을 최대한 활용하면서 BOLTS-M 인터페이스를 사용하는 300mm 프로세스 도구를 위한 측정 모듈의 통합을 위한 기계적 인터페이스 사양을 설정합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 표준은 SEMI E63이 인터페이스의 도구 측에 활용되도록 지정합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e참조된 SEMI 표준\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E15 — 공구 로드 포트 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E57 — 300mm 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너\/로더의 기계적 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E127 — 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스)\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 14.2667px; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E131-0304(0310 재승인) - 비활성","offer_id":40234320363587,"sku":"5855","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true},{"title":"SEMI E131-0304 - 대체됨","offer_id":40234320429123,"sku":"7239","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_54166880-82ae-4d99-90bd-a972a8fa1f4b.png?v=1776702328","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/e13100-semi-e131-specification-for-the-physical-interface-of-an-integrated-measurement-module-imm-into-300-mm-tools-using-bolts-m","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}