SEMI E130 - 300mm 전용 모델(PSEM300)에 적합한 모델 -

Abstract

本standaredは， 글로벌 정보통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年6 月にwww.semi. org 에서는 2003年11 月発行，前版は2004 年11 月発行。

 

本書は300mm標準化のためのグローバルジョイントガイダンスに則した工場に展開されるprobing装置用のpro-ba専用装置model( PSEM300)を策定するものである. PSEM300은 特性과 이 種의 装置에 に当てはmari,かつ実装が必要to される挙動で構成される.本書の趣旨は自動化された半導体工場へのprobing装置の統合を促進することである。本書はこれをhostt視点のpro-bing装置動作modelの定義をすることにより実現するものである.本書は標準のhostintafeーsto装置動作の挙動を規定する.

종속 문서:

SEMI E130.1-1104 (재승인 0710) - 300mm 전용 모델( PSEM300 )의 SECS-IIprot 코르셋

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 - 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI G81 — 지도 데이터 항목 사양
SEMI G85 — 지도 데이터 형식 사양
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정을 위한 사양
SEMI M21 — 데카르트 배열의 직사각형 요소에 주소를 할당하기 위한 사양

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