SEMI E123 - HANDRABEL(HSEM)의 스탄다드 -

Abstract

本standaredは，글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2009年9月4日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年10月にwww.semi. org로，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2003年3月発行，前版は2003年7月に発行された。

　

참고: SEMI E123 은 2003년 7월에 사브드큐먼트SEMIE123.1 이 출시되었습니다.

　

本文書では，handring装置(HSEM)の特定装置model(SEM)を確立する。SEMは，このクラスの装置に適用される装置特性および挙動から構成される。本文書の目的は，handring装置を自動化された（半導体）工場に統合し易くする ことである.本文書は，팩트리오트메이션콘트로라の観点から見たhandring装置の動作modelを定義することによって,その目的を達成している。 この定義は， 스탄다드나호스트인타페스와 装置の動作挙動を提供する.

　

本文書の範囲は，hostから見ttahandringing装置の定義に限定される。装置通信intaferesから見た装置のviewーを定義する。装置の内部動は定義しない。本文書には, このクラスのすべての装置の挙動の基礎としての独自のprosesing状態モデルが含まれる.

　

本文書は，Prosesing状態model，収集イvent，Aramーの文書化，리모트코만드，変数項目，prosesprogramm管理の領域で，handra装置の要求条件および能力を拡張している.

 

종속 문서:

SEMI E123.1-0703(재승인 1109) - 한드라특정형 모델( HSEM )의 SECS- IIprotocoru 仕様

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS)

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