이 상품은 아직 리뷰가 없습니다.
SEMI E122 - Test装置の特定装置model(TSEM)의 스탠다드 -
Abstract
本standanardは, Global Information and Control Committeeで技術的に承認されたもので，North American Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は， 2002年1122日 North American Regional Standards Committeeにて承認されている。 2003年1月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2003年3月発行に至る。
참고: SEMI E122は2003년 7월 に사브드큐 먼트SEMIE122.1출시사로타타메改訂年月が更新された. MI E30.3(을)
를置き換えたものである.
本文書では，test装置の特定装置model( TSEM )を確立する。TSEMは，このクラスの装置に適用される装置特性および挙動から構成される。これらの特性と挙動は実装される必要がある.本文書の目的は，test装置を自動化された半導体工場に統合し易くすることである。本文書は，팩트리오트메이션Controraの観点から見たtest装置の動モデルを定義する ことによって，その目的を達成している.この定義は, standardなhostintaferos および装置の動作挙動を提供する.
本文書では，호스트통신링크から見た装置のviewーを定義するが，装置の内部動作は定義しない。本文書には，このクラスのすべての装置の挙動の基礎としての独自のプロセsing状態모델가含まれる。
本文書は，Prosesing状態model，収集イvent，Aramーの文書化，리모트코만드，変数項目，prosesprogramm管理の処理の領域で，test装置の要求条件および能力を拡張している.
종속 문서:
SEMI E122.1-0703(재승인 1109) - 테스트특정모델(TSEM )의 SECS-IIprot 코르仕様
참조된 SEMI 표준 SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
이 상품은 아직 리뷰가 없습니다.
You May also Like
