SEMI E120 - 공통 장비 모델 사양 -

Name: E12000 - SEMI E120 - 공통 장비 모델 사양
Brand: semi.org
SKU: 3734
Price: 243000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E120-0414 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2013년 12월 23일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2014년 4월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2003년 3월에 출판되었습니다. 이전에 2010년 3월에 게시되었습니다.

본 명세서의 목적은 일반적으로 적용 가능한 반도체 장비 구조 및 관련 요소의 객체 모델을 제공하는 것이다. 이 개체 모델은 다음과 같은 방식으로 사용됩니다.

공장 호스트에게 장비의 외부 보기를 표시하는 방법에 대한 장비 공급업체 지침.
다른 SEMI 장비 통신 표준에서 사용 및 확장되는 기본 모델입니다.
XML 스키마와 같은 기술별 개체 모델 정의 생성을 위한 참조로 사용됩니다.

이 사양은 장비 제조업체가 장비 구조 및 관련 요소를 모델링하는 데 사용할 수 있는 공통 구성 세트를 제공합니다.

이 사양은 사용 가능한 통신 인터페이스를 통해 공장 호스트 응용 프로그램에서 볼 때 장비 구조의 모델에 적합한 클래스, 속성, 관계 및 기타 세부 사항을 정의합니다.

이 사양에 포함된 모델은 둘 이상의(현재 또는 미래) 장비 통신 표준에 필요한 것으로 간주되는 장비 구조의 기능을 문서화합니다.

종속 문서:

SEMI E120.1-0414 - XML 용 COMMON EQUIPMENT MODEL(CEM)

참조된 SEMI 표준

SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드

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