SEMI E106 - 300 mm물리적인 인타페스 오야비캐리아에 대응하는 SEMI스탄다드오바뷰가이드 -

Abstract

本standaredは， Global Physical Interfaces and Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年6 月にwww.semi .org에서 入手可能となる.初版は2000年10月発行，前版は2004年11月発行。本文書は， SEMI PR6-0200 がそのま置き換えられたものである.

참고: 2010 年，投票により本文書の撤回が承認された.

本文書は, 300mmCariato製造設備のユーザおよびsapriyaヤが300mmの物理的intafeースおよびカリアに関する SEMIstandaーdにおける複雑な相互依存を理解し，どのスタンダードがどの製品に適応されるかを判断するのに役立つように意図された。図1に示される通り，本standard類は極めて相互の関連度が高く，複雑な依存関係を有し，かつ順序だった番号体系(時系列的に200mmstandardからの)を継承するものである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E21.1 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스 300mm: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 운송 표준
SEMI E22.1 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스 300mm: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨 표준
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E25 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 모듈 액세스 가이드라인
SEMI E26.1 - 방사형 클러스터 도구 풋프린트 300mm 표준
SEMI E45 — VPD-TXRF(Vapor Phase Decomposition-Total Reflection X-Ray Spectroscopy), VPD-Atomic Absorption Spectroscopy(VPD-AAS) 또는 VPD/Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry를 사용하여 미니 환경에서 무기 오염을 측정하기 위한 테스트 방법 (VPD/ICP-MS)
SEMI E46 — Ion Mobility Spectrometry(IMS)를 사용한 미니 환경의 유기 오염 측정을 위한 테스트 방법
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송 및 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드에 대한 임시 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard)에 대한 임시 사양
SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더의 기계적 사양
SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양
SEMI E70 - 도구 수용 프로세스 가이드
SEMI E72 — 300mm 장비 설치 공간, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E82 — Interbay/Intrabay AMHS SEM(IBSEM) 사양
SEMI E83 - 300mm PGV 기계식 도킹 플랜지 사양
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E85 — 물리적 AMHS 스토커와 Interbay 전송 시스템 상호 운용성에 대한 사양
SEMI E92 — 도구 상호 운용성 표준(BOLTS/Light)에 대한 300mm 경량 및 소형 박스 오프너/로더 사양
SEMI E99 — 캐리어 ID 리더/라이터 기능 표준: 개념, 동작 및 서비스 사양
SEMI E99.1 — 캐리어 ID 리더/라이터 기능 표준을 위한 SECS-I 및 SECS-II 프로토콜 사양
SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양
SEMI E101 — EFEM 기능 구조 모델 가이드
SEMI E103 — FOUP를 에뮬레이트하는 300mm 단일 웨이퍼 박스 시스템의 임시 기계 사양
SEMI G74 — 300mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양
SEMI G77 — 300mm 웨이퍼용 프레임 카세트 사양
SEMI M1.15 — 300mm 광택 단결정 실리콘 웨이퍼용 표준(노치)
SEMI M8 — 연마된 단결정 실리콘 테스트 웨이퍼 사양
SEMI M28 — 개발용 300mm 직경 연마 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M29 — 300mm 배송 상자 사양
SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 임시 기계적 사양
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S11 — 반도체 제조 장비 미니 환경에 대한 환경, 안전 및 건강 지침

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