{"product_id":"e10100-semi-e101-guide-for-efem-functional-structure-model","title":"E10100 - SEMI E101 - EFEM 기능 구조 모델 가이드","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e생산성 향상은 300mm 세대 반도체 공장에서 최우선 과제이며 이를 달성하기 위해 CIM\/FA(Computer Integrated Manufacturing or Factory Automation) 기술이 점점 더 중요해지고 있다. CIM\/FA 인프라를 단기간에 저렴한 비용으로 제공하기 위해서는 이들 기술의 표준화도 필요하다. 표준은 광범위한 생산 장비, 통신 하드웨어 및 소프트웨어 도구를 다루어야 하므로 표준이 높은 수준의 호환성을 갖는 것이 매우 중요합니다. 호환성을 향상시키기 위해 본 가이드에서는 공장 자재 취급 시스템과 공정 장비 사이의 인터페이스에서 캐리어 및 기판을 처리하는 장비 프런트 엔드 모듈(EFEM)의 기능적 구조 모델을 제공합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e이 가이드의 주요 목적은 다음과 같습니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e1. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eEFEM의 기능 및 기능 요소(특정 기능 역할이 있는 구성 요소) 간의 관련 인터페이스에 대한 일반적인 이해를 제공합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e2. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eEFEM에서 기능의 계층적 구조와 해당 인터페이스에 대한 일반적인 이해를 제공합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e삼. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e유지 보수, 조정 및 제어에 사용되는 가능한 단위에 대한 일반적인 이해를 제공합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e4. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eEFEM 기능 요소와 기존 표준 간의 맵을 제공합니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e참조된 SEMI 표준\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E15 — 공구 로드 포트 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I\/O 인터페이스 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I\/O 인터페이스 사양\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 14.2667px; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E101-1104(0710 재승인) - 비활성","offer_id":40234315055171,"sku":"5836","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true},{"title":"SEMI E101-1104 - 대체됨","offer_id":40234315153475,"sku":"7176","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_59ae33be-dd80-4770-a07c-6f72532d7c79.png?v=1776702341","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/e10100-semi-e101-guide-for-efem-functional-structure-model","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}