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SEMI E90 - 인간 추적 사양 -
Abstract
이 표준은 기술적으로 Global Information & Control Technical Committee 에 의해 비난받았고, 이 고장판의 발행은 2011년 12 월 24 일 감사 및 검토 소위원회 에 의해 승인되었습니다. 원작은 1999년에 발행되었고, 이전 발행판은 2011 년에 11 월에 발행되었습니다. 최신본은 www.semiviews.org와 www.semi.org에서 2012년 3월부터 이용 가능하다.
이 표준의 목적은 제조 장비에서 작동(기판/ 제조되는 제품) 을 추적하기 위해 장비의 표준 서비스를 제공하는 것이다. 이 표준은 메시지/ 서비스 뿐만 아니라 미래(substrates) 의 관리 정보에 대한 개념과 동작을 정의한다.
기본적 으로 장비 가 생산(substrate) 의 정보 관리 를 위해 서비스 를 제공 하는 것만 큼 냄비, 선반(substrate) 에 대한 정보는 공장 시스템 에 의해 관리되어야 한다. 이 표준은 장비에 존재하는 공장(기판)의 정보를 관리하는 장비 서비스에 대한 요구 사항을 파괴한다.
이 표준 범위는 사용자가 열 수 있는 장비의 서비스 정보를 정의하는 것입니다. 요청 된 서비스 를 항구하게 하기 위해, 요리(substrate) 의 개념과 동작, 요리(substrate) 의 위치, 배치(batch) 와 배치(batch) 의 위치가 된다.
이 표준 은 제조(substrate)를 관찰 제조 장비에서 적용 가능하며, 이러한 서비스의 실행 을 위해 장비와 공장 시스템은 어떤 방법을 통해서도 통신 연결을 통해 통합되어야 한다.
종속 문서:
SEMI E90.1-0312 - SECS-II 프로토콜 기판 추적 사양
참조된 SEMI 표준 SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E53 — 이벤트 보고
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
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