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SEMI E88 - AMHS 保管SEM(스톡카 SEM) 사양 -
Abstract
本standaredは， global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年2月21日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年6月にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 1999년 3월 20일 이전.
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。
本standardはAMHS스톡카(스톡카SEM)のための特定装置model(SEM)を規定する.置特性と動作から成り立っている。本仕様が意図するのは，스톡카-SEM準拠の装置を自動化工場（たとえば，半導体組み立ておよびFlattPaneldissplayi）へ統合しやすくすることである。本書は，工場自動化コントローラ(호스트)から見て스톡카 SEM準拠の装置の運用モデルを定義する ことで, これを行うものである.る。いくつかの項目には本仕様の範囲内の動作に追加する ことが必要となる。すなわち，待ち行列，Caria移載のためのparaレルインタフェース[SEMI E23]，스톡카制御아키텍챠오よび移動유닛트의 計画와 搬送である.
本standadeの適用範囲はAMHS스톡카(스톡카)の使用と説明に限定されるが，これはGEMmodel( §13にて規定している)準拠のSEMI装置通信標準2 （ SECS-II )를 통하고 호스트는 認識する ことができる.mata， SECS通信rinkを通して装置がどのように見えるか規定しているが，装置の内部動作は規定していない。さらに，このクラスすべての装置の基本として特定搬送코만도状態모델 およびSC状態modelを含んでいる。
本standardではGEM基本要求条件to選択追加性能（ §13にて規定）がストッカーSEM準拠の装置に組み込れているものと見なしている.また， GEM標準要求条件와 能力を状態model（스톡카 制御， 搬送코만드，캐리아 およびストッカークレーン状態모델)，収集，警報文書，리모트코만드，データ変数項目， および材料搬送の領域にまで拡大している。
참조된 SEMI 표준 SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS)
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
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