SEMI E85 - AMHS스톡카 전용 시스템 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2008年8月29日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年10月にwww. semi.org 에서 .

 

本仕様が規定するのは, 300 mm AMHS装置のintar-beirodport に関わる寸法の要求条件である.物理的intaferosを決めるに必要な形状と寸法のlistを作成し，異なる自動搬送systemを使用できるようにし，工場内にある様々な材料取り扱い要求に応えることである。これのために，스톡카와 인타베이搬送시스템双方が従うべきintaferesの選択肢を6つ規定すれば足りることになる.規定されたoptionは次のとおり.

•optionA ： アクティブ搬送がカリアをストッカー内部位置に移送する.

•optionB ： アクティブ搬送がカリアをストッカー 外部位置に移送する.

• 옵션C ： 팟시브搬送がカリアをストッカー内部位置に移送する.

•OPTIOND ： 팟시브搬送が캘리아を스톡카 외측부 位置に移送する（키네마틱카프링핀데로持ち上げる）。

•옵션E ： 팟시브搬送が캘리아を스톡카 外部位置に移送する（コンベベヤフランジで持ち上げる）.

•오프션F ： 팟시브搬送が캘리아어を次の何れかを用いて持ち上げるために，스톡카 밖 부위에 置に移送する。(a)키네마틱핀3つすべて，( ｂ ) 세칸다리키네마틱핀3 츠베라고，( ｃ )上部ロボティックフランジ。캘리아는 表面に垂直な캐리아前面に向けられる.

 

本standardは, 300mm AMHSInta-bei装置の物理的intafeースだけをカバーするものである.300mm AMHSInta-bei装置の同様の要求条件が，SEMI E15.1 데카바ーされている.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양

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