SEMI E67 - 마스플로 콘트로라의 신용 유지성 확정 시험 방법 -

Name: E06700 - SEMI E67 - 마스플로 콘트로라의 신용 유지성 확정 시험 방법
Brand: semi.org
SKU: 8230
Price: 286000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩286,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E67-1011 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9 月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org에서 入手可能となる. 初版は1997年9月発行.

注意: 本文書は2011 年に全面改訂された.

本文書で説明する方法は，masfro-contro-ra（MFC：mass flow controller）にその寿命を通じてme-caーの公表した仕様を満taすだけの機能が備わっているかどうかを調べるのに役立つ。test結果は，複数のMFCの比較を行う上でも有益である.

참조된 SEMI 표준

SEMI E17 — 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 지침
SEMI E66 — 질량 흐름 컨트롤러에 의한 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
SEMI E69 — 열 질량 흐름에 대한 재현성 및 제로 드리프트 결정을 위한 테스트 방법

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