SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するstandadeard(ARAMS): コンセプト，挙動，およびサーbis -

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本仕様は， Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので，North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。현재는 2000년 10 월 19 일 にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。2001年1月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2001年3月発行に至る。初版は，1997年6月発行。

本文書ではSEMI E10に従った装置レベルでのSEMI E10の状態の変化を実装および収集するためのスタンダードが提供されている.

SEMI E10에서는 さまざまな用語 および装置状態が定義されているが, 特に自動化された装置による아프리케이션のために書かれているわけではない.文書の目的は正式な状態モデル手法を用いてそういった装置状態に一貫した解釈を与える ことである.

ARAMS는 半導体工場内의 자율화 및 시스템의 종합을 사포트할 수 있는 컨셉, 작업, および메세지서비스를 정의할 수 있습니다.

一貫した状態modelを応用して装置でSEMI E10deーta収集を自動的に行うことによって装置saプライヤ와 装置ユーザの双方が利益を得る.

SEMI E10에서는 특정 정의의 특정 권한을 행사할 수 있고, 특정 권한을 행사할 수 있는 것은 불가능합니다.ーも規定する.本文書に記されているSEMI E10の拡張は自動化された装置によって下された決定にだけ適用される.

このスタンダードは以下の関係に適用 される.従来のhostost／装置，오페레이타／装置，およびクラスタツールコントロラ／付属モジュール。本文書の範囲は，装置レベルでのSEMI E10関連データの補足および통신を簡単にするスタンダードを定義する ことである。特に，本文書は下記のことを提供する：

装置状態変更のための規則を定義する装置状態모델

SEMI E10 으로 정의 된 6개의 기본 코드

• 装置が生成するデータの定義
• 情報を交換するために必要な콘세프트 およびメッセージ
• ARAMS 에 대한 기본적인 정보는
• 선택의 追加性能要求

このスタンダードはSEMI E10の補足として，装置がSEMI E10をサポートするために使われることを目的とする。両方の文書に共通して使われている用語すべての正式な定義はSEMI E10 にだけ書かれている。

SEMI E58.1-0697(재승인 0703) -자율화에 의한 신용,유용성,오유비보상,아람스(ARAMS)：콘세프트,기동,오세비서비스의 SECS- Ⅱ 프로트 콜

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 표준
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E38 - 클러스터 도구 모듈 통신(CTMC)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E53 — 이벤트 보고