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SEMI E56 - 熱マスフローコントロラの精度，直線性，直線性，直線性，短期再現性，短期再現性，ヒsterisis(履歴現象) およびデッドbandを判断する test方法 -
Abstract
本ドキュmentの目的は，熱マスフローコントロラの精度，直線性，리피타비리티，短期再現性，ヒsterisis およびdededbandを定化量するための標準化された方法を提供するものである.
本adoculmentの意図は，特殊なtestprogrammを提案する ことでなく，ここに含まれているparameteraをtestをする時に使用するtest方法を定めることにある。ユーザは,厳しくコントロールされたtest条件に基づいて精度や精密度，바이아스（歪み），直線性，短期再現性 およびdededbandを調べるためにこのドキュMENTTOを利用する ことができる。
本方法において精度を計算する意義は，masfro-controlor(MFC)の1人のユーザが1つのprosesにおいてある製造装置から別の装置へと移動する こと，そしてprosescontrolorをする間に1 台の製造装置内でMFC を交換する ことを可能にする ことにある.
本adoculmentは熱masfro-contro-ra( MFC )の精度，直線性，리피타비리티，ヒsterisis およびdededbandをtestする ための条件および手順を説明する。本ドキュmentの包括的な性格により，testのすべての手順がすべての種類のMFC 를 사용하는 것은 불가능합니다.
본드큐먼트는 메카와 유자와 の間のコミュニケーションの共通基盤を提供するものである.
참조된 SEMI 표준
SEMI E17 — 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 지침
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