SEMI E54.21 - MOTIONNET®용 센서/아크츄에이타넷트워크(SAN) 통신에 연결되는 전송 -

Name: E05421 - SEMI E54.21 - MOTIONNET®용 센서/아크츄에이타넷트워크(SAN) 통신에 연결되는 전송
Brand: semi.org
SKU: 8227
Price: 287000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩287,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E54.21-1110 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standardは， 글로벌정보통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年1月20 日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年2 月にwww.semi. org 로 入手可能となる.

注意：本文書は， SEMI E155 に替わるものである。

本文書は半導体製造装置に装備されるsenssa/アクチュエータネットwork(SAN)上のSEMI E54のデバイスモデルに従って動作するインテリジェントなデバイス間の通信を可能とするMOTIONNET® 프로트코르니기타통신 の規定を定めるものである。

本文書はSEMI E54の共通／特定デバイスモデルに基づいたある.

참조된 SEMI 표준

SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치용 특정 장치 모델
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 특정 장치 모델 사양

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SEMI E54.21 - MOTIONNET®용 센서/아크츄에이타넷트워크(SAN) 통신에 연결되는 전송 -

本文書はSEMI E54の共通／特定デバイスモデルに基づいたある.

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