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SEMI E54.19 - MECHATROLINK에 대응하는 센서/아크츄에이타넷트워크의 사양 -
Abstract
本standardは, 글로벌 정보 통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2007年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年2月にwww.semi. org에서 そして2008년 3 월 にCD-ROM 으로 入手可能となる.
참고: 本文書는 SEMI E54一連의 스탄다드를 として出版されず，単独で発行および販売される.
この仕様書は，半導体製造装置におけるsenssa/アクチュエータネットwork（SAN）SEMI E54のmodelに沿って，MECHATROLINKを用用 したインテリジェントな機器間における通信の仕様を定義する.
この仕様書は， SEMI E54sensa／アクチュエータ機器の，共通／特定데바이스모델に基づいた，相互接続性について定義する.
この仕様書は，sensa／アクチュエータ／コントローラ機器が，制御機器の一部としてどのようにMECHATROLINKの公開通信仕様の§4で定義される仕様に対応するかを결정하세요.
この この 書 仕様 仕様, 반 E54 の 主要 主要 な 部分 である である である である である である である である である である である デバイス デバイス デバイス と 規定 済み 済み の の 特定 デバイス デバイス モデル (SDM) と の の 関係 を 定義。 この仕様 仕様 仕様 書 書 書 書 は は は は は は は の 仕様 仕様 書 と と いくつ いくつ か か か か か か する。 定義 定義 を 定義 定義 を を 定義 定義 定義 인 SDM 의 仕様書, およびMECHATROLINK 로 공익사유가 있는 서적과 合わせて 사용사유.
참조된 SEMI 표준 SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치용 특정 장치 모델
SEMI E54.18 — 진공 펌프 장치용 특정 장치 모델
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