SEMI E54.18 - 真空ポンプ機器専用의 센서/아크츄에이타넷트워크의 데바이스 모델의 仕様 -

Name: E05418 - SEMI E54.18 - 真空ポンプ機器専用의 센서/아크츄에이타넷트워크의 데바이스 모델의 仕様
Brand: semi.org
SKU: 3824
Price: 284000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩284,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E54.18-1106(1211 재승인) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standaredは， global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9 月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年12にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 2006년 3 월 행사 를 시작하세요.

참고: 本文書는 SEMI E54一連의 스탄다드를 として出版されず，単独で発行および販売される.

注意：本文書は，編集上の修正を伴い再承認された.

本仕様は，sensa／アクチュエータネットworkに関する SEMIstandardの実装を規定する一連のstandardの一部分として規定するものである本仕様の目的は特に，nettworkに依存しないアアプリケーションモデルを説明することであり，そのmodelは半導体製造装置のsensor／アクチュエータ用通信nettwork上の真空ポンプデバイス( VPD )すべてに共通なデバイスOBJECTOで構成するものである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준

SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준

SEMI E52 — 디지털 질량 흐름 컨트롤러에 사용되는 가스 및 가스 혼합물 참조 실습

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