SEMI E54.9 - TCP/IP의 MODBUS/TCP 관련 센서/아크츄에이타・넷트워크 통신 통신 -

Abstract

本standaredは， 글로벌 정보통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2008年5月13日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年6月にwww.semi. org에서는 2008年7月にCD-ROMで入手可能となる。 初版は2000年2月発行，前版は2006年7月に発行された。

　

참고: 本文書는 SEMI E54一連의 스탄다드를 として出版されず，単独で発行および販売される.

　

本standardはトランスミッション・콘트로르・프로트코르／인타넷트・프로트코르( TCP/IP )・넷트워크데노Modbus/TCPprot코르니기즈쿠통신仕様を定義する これは，센사／아크츄에이타。・nettwork( SAN )上にあって，半導체 製造ツールのSEMI規定の（共通およびびdebais独自の）데바이스모델に従って作動する인테리젠트・데바이스상互の通信を可能にするものである.

　

背景および動機

　

TCP/IP상의 Modbus/TCP는 콘포넨트・레베르넷워크로, 콘트롤・레베르노공작데바이스(센사오야비아크츄에이타 등) 오요비콘트로라등의 하이레베르・데바이스의間の，簡単で高速，そして安価なデーター交換の方法を提供する. TCP/IP上의Modbus/TCPが提供するものは下記のとおりである:

• 로레베르나데바이스・넷트워킹を解決する方法,

• 로레베르나데바이스에 있는 인테리젠스의 악세스

• より하이레벨의 콘트로라相互의 넷트워킹

• 마스타／스레이브통신성能およびピア・ツー・피아통신성能

Modbus/ TCP는 통신 모델과 프로트 코드를 검증할 수 있습니다.ークが定義する。

　

本文書には共通데바이스・넷트워크 および특정데바이스・넷트워크の明白な構造 および挙動をTCP/IPnettworkーク上のModbus/TCPへマッpingしたものが記されており，それによってSEMI準拠のSANにある인테리어젠트・데바이스間の通信を可能にする.

　

本文書はこの半導体装置censa/ アクチュエータ・nettwork で 情報 を交換するためにstandad準拠のinterigent・debaicegasapotしなければならないプロトコルおよびサーbisを規定する.

　

本文書ではデバイス構造および挙動を外部から明白に表現するためにModbus/TCPprotocorを利用する方法が規定されている.このデバイス構造および挙動はTCP/IP 넷트웍 스의 Modbus/TCP 프로트코르니関して共 전체 데바이스 모델 （ CDM ）および該当する特定데바이스모델（ SDM ）で規定されているものである.

　

本文書はSEMIstandadeSAN共通デバイスモデル仕様，一つ以上のSEMIstandard특정 데바이스모델( SDM )仕様(마스・후로・데바이스용 모델 등), Modicon Modbus Protocol Reference Guide ，およびOpen Modbus/TCP仕様と共に使用される。これらは全部Modbus/TCPprotocol，つmariSEMI準拠의SANSystem으로Modbus/TCPnettworking機能を利用用devicesの，外部管理のデータ構造および挙動を記述したものである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 - In-Situ 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치에 대한 사양 장치 모델
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

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