SEMI E54.3 - 마스플로 데바이스 관련 센서/아쿠츄에이타넷트워크(SAN) 개인 데바이스 모델 관련 스탠다드 -

Abstract

本standardは， 글로벌 정보통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年10 月にwww.semi. org で入手可能となる.初版は1998年6 月に発行，前版は2004 年7 月に発行された.

참고: 本文書는 SEMI E54 一連의 스탄다드를 として出版されず，単独で発行および販売される.

 

本仕様はsenssa/ アクチュエータネットworkのためのSEMIstandardの実装を規定する一連のstandardの一部である.本仕様独自の目的は，半導体装置のsensasa／アクチュエータ 通信netトwork にある 마스후로데바이스스베라고 に共通したデバイスOBJECT で構成されている，network から独立したアプリケーションモデルを記述する ことである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E12 — 표준 압력, 온도, 밀도 및 질량 유량계 및 질량 흐름 컨트롤러에 사용되는 흐름 단위에 대한 표준
SEMI E18 — 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양에 대한 지침
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E52 — 디지털 질량 흐름 컨트롤러에 사용되는 가스 및 가스 혼합물 참조 실습
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준

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