SEMI E53 - 이벤트레포트 -

Abstract

本stanダードは，글로벌 정보관리위원회で技術的に承認されたもので일본정보관리위원회が直接責任を負うものである.現版は2004年4月30日に일본지역표준위원회にて承認された。 2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2004年7月発行に至る。初版は1996年12月に発行された。

　

装置でのprosesデータへのアクセスは，半導体製造施設で効率的にprosesmonitaringtocontrolorを行う際には非常に重要なことである。このスタンダードでは半導体装置와 セルコントロラあるいはレシピサーバーといった工場内のOBJECUT間の通信の必要性について，타임리나데이타収集およびレポートという観点から扱っている.

　

このスタンダードの目的は，装置saプライヤが提供する汎用的なイベントレポートサービスのsetを用意する ことである。 これより高いレベルのアプリケーション領域を扱っている別のstandardが本文書全體あるいは一部を参照する場合がある.

　

ここで定義されている通信書-bisにより，standードを基本とした，独立systemsの相互運用が可能になる。통신서비스によって，このサーbisが存在するという前提に立ったアプリケーションソフトウエアアの開発が可能になり,このサービスを提供するソフトウエア製品の開発が可能となる.

　

このスタンダードは，あらゆる独立型装置，クラスタモジュール，クラスタツール，工場でのオートメーションセルに適用可能である。standad自體は工場でのあらゆるレベルでのイベントレポートと装置controlor階層について扱っている.

　

このスタンダードでは有意義な通信とソースが必要とされる.そのため，装置内のI/O分布(例えばcensabas)のレベル以下には適用されない.

　

このスタンダードは定期的なデータレポート およびイベントへの応答レポートをカバーしている.mata問合せに対する レポートについても規定している.

　

このスタンダードはコンセプト および挙動からメッセージサーbisまでの解決策を提示している。멧세이지送受信protoコルは定義していない。

　

メッセージ送受信書-bisには，メッセージが交換される ことを明示し，そのメッセージに含まれているデータの定義を示す。메세지の構造に関する情報，메세ージ内でデータをどのように表現するか，あるいは멧세이지를どのように交換するか，ということは含まれていない.ができる。このサーbisを特別なprotocol（例えばSECS -II ) に맛핑하는 일과 についての情報は，付属スタンピンダードに追記されている.

　

サーbisは，ユーザとサーbisの提供者との間に信頼できる接続が確立されている通信環境を前提としている。通信の確立，維持，開放はこの스턴ダードの範囲外である.

종속 문서:

SEMI E53.1-0704 - 이벤트레포트스탄다드へ의 SECS- Ⅱ 의 사포트

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E38 - 클러스터 도구 모듈 통신(CTMC)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E40 — 공정 관리 표준

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