SEMI E49 - 高純度 および超高純度配管Systemの性能，サブアセンヽリ，最終組立のためのgaid -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項： このSEMIstandade は，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された.

本概説standardの目的は, SEMI E49.2 , SEMI E49.4 , SEMI E49.5 , 세미 E49.6 , 세미 E49.7 , 세미 E49.8 ， SEMI E137 について一連의 기본적 정의와 증명을 위한 사진 서적을 작성합니다.

本文書には推奨される手法を始め性能ならびに方法の基準ついて言及するSEMI E49.2 , SEMI E49.4 , 세미 E49.5 , 세미 E49.6 , 세미 E49.7 , 세미 E49.8 ， SEMI E137 에서 사용하기 위해 사용하는 언어입니다.

SEMI E49 의 副文書는 配管分配 시스템의 型式 － 가스， DI ／化学薬品，溶剤 － および，組立 およびtest手順の種類 － stenresschy-runotatemeのsabacenbri，forimar-notetameのsabeacenbri，そして最終的なツール組立により編成されている。最終組立は，しかるべきParame-ta(예：純度) ，完全性，欠陥率）すべてについて該当するSEMI E49 의 副文書に明記 される通り test，確認されるべきである。

本配管分配のための文書（ SEMI E49.2 – SEMI E49.8 ）は，System 設計，性能，材料，構成CONPO-NENTNOTAMEのgaidlineを含んでいる.と性能グレードを述べる.

HP もしくはUHP ツールの性能の最適な適用を決めるために，ユーザはツール全體のCOO (소유비용 )分析を完了させるべきである。主なparame-taに含めるべきものは，設備costto組立西クル時間， 配管systemの信頼性と整備性要因，汚染に対する truth-tosabsystem配分，we-ha品質towe-harsruーputt要因などへの結果的な影響である.

最終組立は使用に伴う環境，健康，安全性の問題に関してSEMI S2 の基準に従い査定されるべきである。

하위 표준 (포함)

SEMI E49.2 - 반도체 공정 장비의 초순수 및 액체 화학 시스템에 사용되는 폴리머 어셈블리의 적격성 평가 지침

SEMI E49.4 - 반도체 제조 장비의 고순도 용매 분배 시스템 가이드

SEMI E49.5 - 반도체 제조 장비의 초고순도 용매 분배 시스템 가이드

SEMI E49.6 - 서브시스템 조립 및 테스트 절차 가이드 – 스테인리스 스틸 시스템

SEMI E49.7 - 반도체 공정 장비의 초순수 및 액체 화학 시스템의 설계 및 제조를 위한 순도 가이드

SEMI E49.8 - 반도체 제조 장비의 고순도 및 초고순도 가스 분배 시스템 가이드

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드

SEMI E137 — 반도체 제조 장비의 최종 조립, 포장, 운송, 포장 풀기 및 재배치 가이드

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.