SEMI E47.1 - 300 mm웨하급기 FOUP용 FOUP 장비 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2012年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org 에서 1997년 11월 20일 이전에 가능합니다.

　

注意： 本文書は、編集上の修正を伴い、再承認された.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本standardは, IC製造工場において300mm径weーハの搬送および保管に사용 されるFOUPを,部分的に規定する.

　

本standardが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，모쥬르성토互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定める ことである.本仕様におけるほとんどの要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，（드아메카니즘やキネマティックカプRINGを除き）表面仕様が要求されることはほとんどない。 FOUPに対する物理的Intafeースだけが規定されており，材料に対する要求事項やpartycrunaどの汚染限度は示されていない.本standadeーdに規定された容器は，密閉されたminienbairoment用途を図しているが，単にうまく設計された自動化intaferースを伴ったボックスであるとの解釈でも構わない.

　

FOUPは次の構成部分と付加構造よりなる(칵코内は個数を示す).

예시:

要求される構造

선택 사항

탑

• 탑핸들링후란지
• 탑핸들링후란지상의 중앙심점

탑핸들링후란죠노키네마틱溝（option） (3)

内側

• 웨하 13 장 사용 하는 25장용 카셋트
• ウェーハを固定する機構
• 엔드에페크타排除領域

側面

• 사이드포크리후트후란지(오프션) (2)
• 人間工学的に設計された手動操作用handdol（option）

드아

• FOUP으로부터 아を안랏치시키시다토끼에，FIMS 니드아부を랏찌스루타메의 랏치키호르
• 레지스트레이션핀홀
• 드아프레젠스센싱領域

底部

보톰콘베야레이르( 4番目のレールと同様に機能するフロントシール領域の底部が付いたもの，およびFOUPのoptionの後方のレールが付いたもの） (4)
포크리후트핀홀 (2)
• 칼리아센싱팟 (5)
• 中央の支持機構(센타리테이닝피챠)
• 前方の支持機構(후론트리테이닝피챠)
• 인포팟 (4)
• 애드밴싱 FOUP 센싱팟드 (2)
• 키네마틱카프링핀과 연결 10mm 의 리드인(자율주행차심)を確保する機構(3)
• 키네마 틱카프링핀과 연결15mm의 리도인(자율주행차)を確保する機構(옵션) (3)
• 전면콘베야면

背面

• RFID 태그 태그

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E47 — 150mm/200mm 포드 핸들 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

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