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SEMI E40 - 처리 표준 관리 -
Abstract
이 표준은 기술적 으로 Global Information & Control Technical Committee 에 의해 승인되었고 , 해당 범위의 출판은 2011년 12 월 24 일 Global Audits and Reviews Subcommittee 에 의해 승인되었습니다 . 1995 년에 초본이 인쇄된 중세 , 이전 버전은 2011 년 11 월에 인쇄되었습니다 . 이번 출판은 www.semiviews.org 와 www.semi.org 에서 2012 년 3 월부터 이용 가능하다.
장비에 보관하는 재료 가공의 관리와 명령(command)을 깎는 것은 공장 살인을 가능하게 하는 중요한 측면 으로 , 이 표준에서는 장비의 재료 가공에 관한 반도체 제조 환경에 통신이 필요합니다 .
이 표준은 처리 에이전트 가 수신한 표준 재료에 대해 적절한 처리의 응용 프로그램을 쟁취하고, 재료 처리(material processing )의 개념 , 처리와 관련된 장비의 작업 및 작업 (task) 을 작업에 필요한 ) 를 설명한다 .
여기에서 설명하는 통신 서비스는 표준인 시스템의 표준에 생태적으로 활용할 수 있도록 하고 이를 통해 개발되는 응용 프로그램이 이러한 서비스의 존재를 가능하게 하고 소프트웨어 제품들이 통신 서비스를 제공할 수 있도록 개발 가능하게 한다. .
자동 처리 관리의 실행으로 재료 에 대한 오처리(misprocessing )를 없애고 , 명문화된 표준의 적용으로 장비 구성요소의 통합에 필요한 노력을 크게 개선한 처리 설정 시간을 점차 감소시킵니다 . 준수해야 할 항목은 최소로 줄지만 그 기준은 매우 구체적이어야 합니다 .
이 표준의 범위 는 개별적으로 프로세스 작업(Processing Jobs )에 기반이 되어 있는 재료 를 가공하고, 그 클러스터 도구를 찾는 모듈에 대한 가공 관리에 필요한 기능을 제공한다 . 다양한 유형의 장비에 대한 호스트 컨트롤 (control) 뿐만 아니라 , 그외 다른 십대 - 밖(multi-resource) 종의 하위 시스템에도 적용된다 .
이 표준은 그룹 내에서 재료의 동일한 처리와 기준인 그룹들의 경제적 처리에 대한 개별 작업 (jobs) 관리를 지원한다 . 재료가 다른 재료를 운반하는 경우 ( 버려야 하는 재료를 운반하는 것과 같은 ), 각각의 재료 유형에 따라 처리가 파괴되어야만 합니다 .
미니미니즘은 프로세스 단계적으로 제한적인 피드포워드(feedforward) 와 aliexpress(feedback )을 위해 제공되는 , 방식(Method )이 가변적으로 조작 가능(recipe variable parameters) 를 이용하기 위해 정의하기 위해 퀵 , 모든 폐쇄된 순환 (closed loop control) 요구를 만족시킬 것 이라고 예상되지는 않습니다 . 복잡한 데이터의 처리 (handling) 와 최고(tuning) 지연에 지연이 그외 다른 점들이 보다 큰 모습을 보일 것으로 예상된다 .
이 표준은 처리를 위해 재료를 받거나 , 처리가 끝난 후 재료의 처리 (처분) 와 같은 서비스를 제공하지 않는다 . 재료 이동은 다른 적용 가능한 SEMI 표준에 정의된 내용들과 마찬가지로 본 발명의 표준이 되는 다른 서비스를 제공할 수 있다 .
이 표준에서는 장비와 관련된 개념과 동작 부터 받은 서비스를 늘리는 솔루션을 제시하지만 수신을
메시지 교환에 대한 식별과 해당 메시지에 데이터를 포함하는 정의를 포함하지만 , 메시지의 구조에 대한 정보 , 메시지 내 데이터 표현 방식 , 또는 메시지 교환 방식을 포함한다 . 추가 정보는 수신 수신자에게 포함된다 .
설명된 서비스는 프로토콜에 적용 되고 특수 프로토콜로 ( 예 : SECS-II) 처리 관리 서비스를 연결하는 정보는 추가 표준에서 다 지게 된다 .
서비스는 사용자 서비스와 서비스 공급자 사이에 가장 가까운 연결이 설정되는 보안 환경을 말합니다 . 서비스는 , 설정 , 유지 , 연결 해제 및 , 통신 오류 처리는 이 표준에서 진행 중입니다 .
종속 문서:
SEMI E40.1-0312 — 프로세싱 관리 표준을 위한 SECS-II 지원
참조된 SEMI 표준 SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜 SEMI E40 — 공정 관리 표준 SEMI E53 — 이벤트 보고
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