SEMI E40 - 프로세스 관리 스탠다드 -

Abstract

本standared는 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회(Information and Control Global Technical Committee )입니다. 2013년 6월 4일, 글로벌 감사 및 검토 소위원회(Audits and Reviews Subcommittee )는 2013년 8 월 4일 입니다. semiviews.org www.semi.org에서 1995년 9월 2012년 3월 3 월 행

　

참고: SEMI E40은 SEMI E40.1 의 改訂を反映して, 0813 出版saicrumにて出版年月が更新された。

　

工場でのおートメーションを実現するためには，装置での材料処理に対する自動化された管理 およびcomandは重要な要素の一つである.このスタンダードは，半導体製造装置内で材料を処理するという側面から，半導体製造環境における通信の要求事項を記載する.

　

本standaredはproses実行エージェントが受け入れることができるある材料の処理を行うアプリケーションについて記述する。mata，材料を処理する概念，処理に関する装置の動作，および作業を完全に実行するのに必要となる멧세이지서비스について説明する.

　

本standadeードにおいて코뮤니케이션・서비스を定義することによって，独立したSystemにおいても共通の基準を用いることが可能となるまた，코뮤니케이션・서 bisno存在を想定する ことで，Aprike-tion・ソftwea開発や，それらを提供するソフトウェア製品を開発することが可能となる.

　

自動化されたproses管理の実装により，材料の誤った処理を排除することができる。ここに述べられている스탄다드を適用すれば，準拠する装置のコンポーネントを統合する労力を 大きく削減できる.本standaredに準拠するには，指定された最低限の一連のstandard・서비스が必要である.

　

本standad の 範囲 は, 独立 し た プロセスジョブを基に し た 動 材料 処理 で ある.のマルチリソース装置のサブ시스템や，複数TYPの装置に対するホストコントロールにも適用することができる.

　

本standared は，ある材料gruープの同一処理に対する個別管理のsaportortや，別のグループの並行処理をsaポートする。材料が他の材料を含んでいる場合（例えば，Cariagawe-ハを含んでいる場合），処理はどちらの材料の形によって指定してもよい。

　

츄닝・메카니즘による，prosesstep間の限定されtafi-dfoword およびfi-dbackccontro-ルが可能である。これらは，レシピの可変parame-taを利用するという形で形義されている。しかし，これですべてのクロー즈드루프・콘트로르の必要条件が満taされることは期待できない.事後のチューningと複雑なデータ処理に対するより融通性のある他の메카니즘が必要である.

　

本standadard は，処理のための材料を受け取るサーbis，あるいは処理が完了した後に払い出す書ーbisは提供していない。材料移動の自動は，それに対応したSEMIstandāードなど，他のサーbisにより提供されることを前提としている.

　

本standared는 概念と動作からメッセージサーbisにいたるまでの方法を表しているが，멧세이지프로트コルは定義していない。

　

멧세이지서비스데は，交換される멧세이지 およびその멧세이지に含含まれねばならないデータを明確に定義している。멧세이지の構造，데이타가멧세이지中にどのように表されているか，あるいはメッセージがどのように交換されるかについての情報は含まない.

　

定義されたサーbisは，複数のprotocorに適応される。特別なprotコルへのproses管理서비스노마핑に関する情報(例, SECS- Ⅱ )は，補助standarードとして追加される.

　

サーbisは，そのサーbisのユーザおよび提供元との間の信頼性のある通信接続を前提にしている。ひとつの通信接続を確立し，持続し，解除することおよび，코뮤니케이션の失敗を処理する事は이 스탄다드가 외부로 유출됩니다.

 

종속 문서:

SEMI E40.1-0813 — 프로세스 관리 스탠다드베의 SECS- Ⅱ 의 사포트

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜

SEMI E40 — 공정 관리 표준

SEMI E53 — 이벤트 보고

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