{"product_id":"e03800-semi-e38-cluster-tool-module-communications-ctmc","title":"E03800 - SEMI E38 - 클러스터 도구 모듈 통신(CTMC)","description":"\u003cp\u003e이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2006년 11월 21일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 2월에는 www.semi.org에서, 2007년 3월에는 CD-ROM으로 제공되었습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 1996년 12월.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e 알림: 이 문서는 2007년 투표를 거쳐 철회 승인되었습니다.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e클러스터 도구는 반도체 제조 장비의 모듈성과 유연성에 대한 요구를 충족합니다. 이 표준은 자동화된 제어를 위해 클러스터 도구 내의 모듈과의 통신 및 모듈 간의 통신을 처리합니다. 여기에 정의된 모듈 통신 서비스는 독립 공급업체의 모듈 표준 상호 운용성을 가능하게 합니다. 다른 클러스터 도구 표준과 함께 이것은 표준 호환 상호 운용 하위 시스템의 출현을 초래하기 위한 것입니다. 이러한 서비스의 존재를 가정할 수 있는 애플리케이션 소프트웨어를 개발하고 이를 제공하는 소프트웨어 제품을 개발할 수 있도록 허용해야 합니다. 설명된 표준을 채택하면 독립 공급업체의 클러스터 도구 구성 요소를 통합하는 데 필요한 노력을 크게 줄일 수 있습니다. 규정 준수를 위해서는 최소한의 특정 표준 서비스 집합에 대한 지원이 필요합니다. 클러스터 도구 모듈 통신은 클러스터 도구와 공장 간의 통신이 아닌 클러스터 도구 내의 모듈 간 통신만 처리합니다. 단일 장비로 표시되는 클러스터 도구가 아니라 모델링되는 모듈과 그 상호 관계입니다. 범위에는 프로세스 모듈의 재료 처리, 클러스터 도구 내 재료 이동 및 공장에서의 재료 입\/출력을 위한 기본 제어 서비스가 포함됩니다. 레서피 처리, 예외 조건 해결, 이벤트 보고 및 데이터 액세스를 가능하게 하는 지원 서비스도 있습니다. 분산 제어를 위해서는 안정적인 통신 환경이 필요하며, 이를 보완 표준으로 명시하고 있습니다. 이 표준은 클러스터 도구 내에서 필요에 따라 보다 일반적인 서비스 표준의 적용을 지정합니다. 여기에는 규정 준수에 필요한 클러스터 도구 아키텍처 및 기본 기능이 부과하는 제한 사항이 포함됩니다. 일반 서비스, 프로토콜 및 통신 환경 요소에 대한 세부 사항은 참조된 해당 표준 문서에 정의되어 있습니다. \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e종속 문서:\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e SEMI E38.1-95 - 클러스터 도구 모듈 통신을 위한 통신 환경 HSMS\/SECS-II\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cb\u003e참조된 SEMI 표준\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e \u003cfont\u003eSEMI E21 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 기계 인터페이스 및 웨이퍼 운송 표준\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E22 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨 표준\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E30 — 통신 및 제어를 위한 일반 모델\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E38-1296 (Withdrawn 0307) - Withdrawn","offer_id":43106871902275,"sku":"8181","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_0dd7efa7-a346-4689-bc1a-f9b560da9a3e.png?v=1776702110","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/e03800-semi-e38-cluster-tool-module-communications-ctmc","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}