SEMI E32 - 材料搬送管理 standard(MMM) -

Name: E03200 - SEMI E32 - 材料搬送管理 standard(MMM)
Brand: semi.org
SKU: 5873
Price: 290000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩290,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E32-0997 - 비활성

품목 옵션

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダードスタンダード日本語スタンダード版をごご利用にあたってにあたってのの注釈を本文本文の末尾に記載記載しておりますますますます「すべきべきであるである」「しなければならない」について等。。。。。

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

自動材料搬送は半導体製造の自動化の発展においては重要な道標である.搬送工程の標準化は材料搬送動性の経め済のたに重要である.本スタンダードは材料搬送に関する半導体製造設備の通信について記述する。

좋은
－本standardは，半導体工場での自動材料搬送，すなわち，あるproses工程や保管場所から他へ，材料および他のものものを搬送するという課題について記述する。これは材料搬送の概念，材料搬送に関する（搬送装置も含めた)装置の挙動，および課題を遂行するために必要とされる멧세이지서비스について明らかにしている。

範囲
－본스탄다드の範囲は，2つの視点から定義される。第1は，含まれる機能の範囲であり，第2は含まれる機能の深さである。

하위 표준:

SEMI E32.1-0997 - 자재 이동을 위한 SECS-II 지원

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양 SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스

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