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SEMI E30.5 - 한정 모델 -
Abstract
本standardは, 글로벌 정보 통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2007年12月20日，global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2008年2 月にwww.semi. org로，2008년 3월에CD-ROM 으로 入手可能となる.
예 1: 本烈ダクトの完全な仕様にはSEMI E30 의 一般的な要求事項が全部含まれる.
本standadeでは計測装置(MSEM)のための特定装置model(SEM)を確立する.このMSEMは, このクラスの装置に適用する装置特性 および挙動で構成れ，これらをSEMI E30 の基本要求条件 および追加性能に加えて，実装することが要求されている.
참조된 SEMI 표준
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS)
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습
SEMI M21 — 데카르트 배열의 직사각형 요소에 주소 할당 가이드
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