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SEMI E30 - 제조장비 제어와 커뮤니케이션을 위한 일반 모델 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 기술적으로 Global Information & Control Committee 에 의해 비난받았고, 이 고장판 발행은 2011년 5 월 13 일 Global Audits & Reviews Subcommittee 에 의해 입증되었습니다. 원본은 1992년에 주기로, 이전 발행판은 2003 년 11 월에 발행되었습니다.
범위 ( Scope ) — GEM 표준의 범위는 통신 연결 측면에서 반도체 의 동작을 정의하는 것으로 제한한다. SEMI E5(SECS-II) 데이터 표준 은 호스트와 장비 간에 통신되는 메시지와 관련된 정의를 규정하며, GEM 표준은 어떤 SECS-II 메시지가, 어떤 상황에서 사용되어야 하는지, 정의한다. 그림 1은 GEM, SECS-II 및 기타 현미경 대안들 간의 관계를 보여줍니다.
GEM 표준은 통신 연결에서 호스트 컴퓨터의 동작을 정의하지 않습니다. 호스트 컴퓨터는 GEM 메시지 대기 를 계속할 수 있고 장비의 응답은 GEM 표준에 오래 걸리는 것이어야 합니다. GEM 메시지 전달이 호스트나 장비에서 시작된다면 호스트가 적절한 GEM 메시지를 사용하는 경우 장비는 GEM 표준에 배치되어 작동하게 됩니다.
참조된 SEMI 표준 SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E139 - 레시피 및 매개변수 관리 사양(Ra P )
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