SEMI E28 - 마스후로콘트로라의 강력한 힘의 가이드라인 -

Name: E02800 - SEMI E28 - 마스후로콘트로라의 강력한 힘의 가이드라인
Brand: semi.org
SKU: 8158
Price: 288000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩288,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E28-92(0710 재승인) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standanardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年6 月にwww.semi.org で入手可能となる. 初版は1992年発行。前版は2004 年11 月発行。

本gaidlineの目的は，マスフローコントロラに関する作業を行う場合に必要な，圧力parameterを記述するための統一のとれた，世界中に通用する方法を確立することである.それは製造者와 ユーザ間の混乱及び誤解を防止しようとするものである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E12 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 유량 단위의 표준 압력 및 표준 온도에 대한 표준

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