SEMI E24 - 클라스타트르・모쥬르・인타페스：隔離바르브인타록크의 스탄다드 -

Name: E02400 - SEMI E24 - 클라스타트르・모쥬르・인타페스： 隔離바르브인타록크의 스탄다드
Brand: semi.org
SKU: 8154
Price: 285000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩285,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E24-92(철회 0710) - 철회

품목 옵션

Abstract

本standanardは， Global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4 月30日， Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年6 月にwww.semi .org 에서 入手可能となる.初版は1992年発行、前版は、 2004 年7 月発行

참고: 2010 年，投票により本文書の撤回が承認された.

本standadeの目的は，材料もしくは装置に，危険な状態もしくは損傷の可能性をもtaras すような隔離barlubの開閉を，防止することにある。

影響－本standardは，クラスタツールモジュールサプライヤに，Intarokkを備えること、およびIntarokkがtripする状態を定義することを求めている。

참조된 SEMI 표준

SEMI E21 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 기계 인터페이스 및 웨이퍼 운송 표준

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SEMI E24 - 클라스타트르・모쥬르・인타페스：隔離바르브인타록크의 스탄다드 -

참고: 2010 年，投票により本文書の撤回が承認された.

本standadeの目的は，材料もしくは装置に，危険な状態もしくは損傷の可能性をもtaras すような隔離barlubの開閉を，防止することにある。

影響－本standardは，クラスタツールモジュールサプライヤに，Intarokkを備えること、およびIntarokkがtripする状態を定義することを求めている。

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참고: 2010 年，投票により本文書の撤回が承認された.

本standadeの目的は，材料もしくは装置に，危険な状態もしくは損傷の可能性をもtaras すような隔離barlubの開閉を，防止する ことにある。

影響－本standardは，クラスタツールモジュールサプライヤに，Intarokkを備えること、およびIntarokkがtripする状態を定義することを求めている。

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本standadeの目的は，材料もしくは装置に，危険な状態もしくは損傷の可能性をもtaras すような隔離barlubの開閉を，防止することにある。