SEMI E23 - 카셋트 장치 패러렐I/Ointaferes에 관한 사항 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww. semi.org 에서 1991년 9월부터 2004년 11 월까지.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

proceses装置および搬送装置の間のカsetトの搬送は，相互に作用する領域内で機械的な操作によって行われ，すばやい応答と信頼できるインタロック信号が必要となる.

　

この仕様の目的は, 材料移動のためのSECSstandardに補足されるintaferesmecanismumの制御のための，카셋트搬送파라레루잉풋트／아우트풋트(I/O) 를용의용의가 있는것으로ある。

 

この仕様は，proses装置の一つの部分および搬送装置の一つの部分のような，装置の2つの部分の間のカsett搬送のための，pararelerI/ Ointaferesを取り예.

　

このスタンダードは，装置の2つの部分の間のワイヤ接続pararelerI/Ointafeーs，およびproses装置와 搬送装置の間の光結合pararelerI /Ointaferースを，定義している。

　

카셋트輸送に対するpararelelI / Ointaferesの適用例を,次に示す.

　

装置の各部分は, SECSIntaferesでホstに接続され, およびその間でカsetトの搬送ga行われ，装置の2つの部の各々は，図1に示すようにpararelerI/ Ointaferesにて接続される.

　

カsett搬送の要請，すなわちロード／安ロード命令がSECS-II멧세이지によって通報される。実際のカsett搬送動作は，pararelerI/Oin フ タ フ て 使用 し て実行され，それは各메카니즘をインタロックする。（파라렐 I/ Ointaferes를 사용하기 위해 사용하는 카셋트搬送処理の例を，関連情報1に示す）.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E1 — 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양
SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.