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SEMI E15.1 - 300mm 소형 로드포트 전용 부품 -
Abstract
실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee )는 2010년 8월 27일, 글로벌 감사 및 검토 소위원회(Global Audits and Reviews Subcommittee )는 2010년 10월 27일입니다. 2010 년 10 월 www. semi.org 에서 1996년 9월부터 2005 년 3월까지 2005년 3월 1996년 9월 1996년 3월 2005 년 3월 1996년 10월
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
この仕様が規定しているのは, 300mmWeーハ処理および検査装置のロードポートに関する寸法上の要求事項である。目的としているのは,装置と工場との間の一様な機械的Intaferesを促進する こと，自動ウェーハカリア搬送systemを使いやすくする こと，人が積載する装置のための要求事項を満たすこと，である.
本standaードは， 300 mm装置のみを扱っている。 200 mm以下のウェーハ用の装置を扱う同様の要求事項は， SEMI E15 で扱っている。
참조된 SEMI 표준
SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI E84 - 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
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