{"product_id":"e01400-semi-e14-measurement-of-particle-contamination-contributed-to-the-product-from-the-process-or-support-tool","title":"E01400 - SEMI E14 - 프로세스 또는 지원 도구에서 제품에 기여한 입자 오염 측정","description":"\u003cp\u003e \u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e알림: 이 문서는 2003년 SEMI® 표준을 관리하는 규정에 따라 철회되었습니다.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e이 문서의 목적은 해당 프로세스를 통과한 결과 실리콘 웨이퍼에 추가된 입자의 수 ​​및 크기 분포 측면에서 특정 프로세스 또는 도구의 오염 성능을 측정하기 위한 표준화된 방법론 및 세부 절차를 제공하는 것입니다. 도구.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cb\u003e참조된 SEMI 표준\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e \u003cfont\u003eSEMI M10 — 갈륨 비소 웨이퍼의 구조 및 특징 식별을 위한 표준 명명법\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E14-93(철회 0303) - 철회","offer_id":40234339205187,"sku":"8123","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_2cc7cd01-153e-4837-a524-da5d2d0ed6c7.png?v=1776702142","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/e01400-semi-e14-measurement-of-particle-contamination-contributed-to-the-product-from-the-process-or-support-tool","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}